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      電鍍設備

      應用于雙大馬士革電鍍工藝

      盛美上海多陽極局部電踱設備應用千55/40/28和28納米以下的大馬士革銅金屬層沉積。

      電鍍設備

        

      主要優勢

      脈沖局部電鍍技術

      適用于超薄種子層

      高產能

      獨立模塊設計

      低耗材成本COC和運行成本COO











      特性和規格

      設備應用于300毫米晶圓

      最多可配至3個Load Port

      最多可配至4個電鍍腔體配備脈沖局部電鍍功能

      最多可配至4 個清洗腔體

      最多可配至8個退火腔體

      電鍍均一性:
           WIWNU  < 1.5%
           WTWNU < 1.5%