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      2007

      成長潛力獎

      張江高科技園區

      2008

      工博會創新獎-12英寸65納米單片晶圓清洗設備

      中國國際工業博覽會組委會

      2009

      發明專利證書

      專利號:ZL 2009 1 0050834.2

      2010

      中國半導體創新產品和技術

      中國半導體行業協會、中國電子材料行業協會、中國電子專用設備工業協會、中國電子報社

      年度優秀創業者

      2011

      優秀參展產品獎-無應力拋銅

      中國半導體行業協會、中國國際貿易促進委員會、上海集成電路行業協會

      優秀創業企業

      突出貢獻企業

      上海市張江高新技術產業開發區管理委員會、上海市人力資源和社會保障局、上海市公務員局

      2012

      優秀參展金獎

      中國半導體行業協會、中國國際貿易促進委員會、上海集成電路行業協會

      2013

      創業大賽優勝企業

      創業大賽組委會、上海市科技創業中心、上海市大學生科技創業基金會

      科學技術獎二等獎-單片晶圓清洗設備研發與應用

      上海市浦東新區人民政府

      工博會銅獎-兆聲波單片清洗設備

      中國國際工業博覽會組委會

      國家高新區百新企業

      中國高新技術產業導報、中國高新技術產業開發區協會、中國高新區研究中心

      2014

      發明專利證書

      專利號:ZL 2014 8 0079603.3

      2015

      發明專利證書

      專利號:ZL 2015 8 0080188.8

      2016

      新制程快速量產

      中芯

      2015年中國半導體設備十強單位

      中國電子專用設備工業協會

      感謝牌

      海力士

      2017

      科學技術獎三等獎-單片晶圓涂膠設備研發與應用

      上海市浦東新區人民政府

      上海市專利工作試點企業

      上海市知識產權局

      微信年度企業

      2016年中國半導體設備行業十強

      中國電子專用設備工業協會

      2018

      2017年中國半導體設備十強單位

      中國電子專用設備工業協會

      中國半導體創新產品和技術獎-先進封裝電鍍設備

      中國半導體行業協會、中國電子材料行業協會、中國電子專用設備工業協會、中國電子報社

      中國半導體創新產品和技術獎-TEBO

      中國半導體行業協會、中國電子材料行業協會、中國電子專用設備工業協會、中國電子報社

      創新獎-兆聲波單片清洗機

      集成電路產業技術創新戰略聯盟

      2019

      2018年度優秀供應商

      華力

      2018年中國半導體設備五強企業

      中國半導體行業協會

      最佳成果獎

      SK海力士

      2019年卓越影響力上市企業

      張江科投企業年度交流會

      杰出企業

      久友基金

      華虹集團2019年供應商大會感謝牌

      華虹集團

      科技創新獎

      中國國際工業博覽會組委會

      2018年中國半導體設備十強單位

      中國電子專用設備工業協會

      2018年度上海市集成電路設備業銷售前十名

      上海市集成電路行業協會

      2020

      2019年度最具潛力供應商

      華力半導體

      開放創新合作獎

      華虹集團

      中國半導體創新產品和技術獎-Tahoe

      中國半導體行業協會、中國電子材料行業協會、中國電子專用設備工業協會、中國電子報社

      上海市集成電路先進濕法工藝設備重點實驗室

      上海市科學技術委員會

      2019年度中國半導體設備五強企業

      中國半導體行業協會

      2019年度上海集成電路行業設備業前十名

      上海市集成電路行業協會

      上海市科學技術獎一等獎

      上海市人民政府

      優秀創新獎

      SMIC、SMNC國產設備評審委員會

      感謝牌

      海力士無錫CNC技術全體成員

      2021

      上海職工勞動和技能競賽二等獎

      上海市總工會

      上海市集成電路設備業銷售前十名

      行業杰出貢獻獎

      2020-2021年度上海設計100+入圍作品

      上海設計100+組委會

      2022

      2022年 杰出貢獻獎

      云天半導體

      上海市集成電路外資企業半導體設備業銷售前五名

      上海市集成電路行業協會

      成果產業化獎

      第五屆“IC創新獎”

      2023

      上海市企業技術中心

      上海市經濟和信息化委員會、國家稅務總局上海市稅務局、上海市財政局、上海海關

      進門財經

      2022年最佳機構覆蓋IR團隊

      2022年度公益慈善獎

      中共浦東新區川沙鎮委員會、浦東新區川沙新鎮人民政府

      TBB上海制造業品牌價值榜/SFEO上海企業品牌成長榜

      上海市工業經濟聯合會、上海市經濟團體聯合會、上海市商業聯合會

      2022年度上海市集成電路內資半導體設備業銷售前五名

      上海市集成電路行業協會

      優質合作伙伴

      杭州富芯半導體有限公司

      在地化突破獎

      合肥晶合集成電路股份有限公司

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